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Sputter-Targets


Vielfältige Möglichkeiten
Wir beraten Sie bei allen Fragen rund um das Thema Sputter-Targets!
  • Targetabmessung
  • Targetsegmentierung
  • Bondtechnik
  • Kostenvergleiche monolithisch/gebondet
  • geeignete Rückplatten
  • Unterstützung bei neuen Werkstoffkombinationen
Wir haben jahrelange Erfahrung in der Herstellung von Keramiken und produzieren Oxid- und Nichtoxidkeramiken als Sputtertarget für die Beschichtungsindustrie ebenso Metalle und Legierungen. Die unterschiedlichen Eigenschaften ermöglichen es, durch chemische Modifikation und Aufbau keramischer Mischungen, maßgeschneiderte Werkstoffe für die jeweilige Anwendung zu entwickeln. So kann die elektrische Leitfähigkeit von keramischen Targets, die in der Regel als Isolatoren genutzt werden, durch Zusatz von Additiven in einem weiten Feld gezielt beeinflusst werden bis zu einem guten elektrischen Leiter.
Mit der Herstellung von gezielten Mischungen kann z.B. die Härte, die chemische Beständigkeit, sowie die optischen Eigenschaften den spezifischen Wünschen der Kunden weitestgehend angepasst werden. Ein weiterer wichtiger Bereich ist die Mischungen aus keramischen Materialien und Metallen, sogenannte Cermets. Wir haben die gesamte Wertschöpfungskette im Haus: von der Rohstoffaufbereitung über die Herstellung der Keramik, die Bearbeitung bis hin zum Bonden der Targets.
Materialtyp des Sputter-TargetsPlanar TargetRohrtargetBeispiele
Standard-MetalleAl, Cu, Ti ...
LegierungenAl/Si, Ti/Al ...
Edelmetalle
Au, Pt, Ag ...
Seltene Erden
Ce, Er, Tb ...
OxidkeramikenAl2O3, AZO, ITO ...
Nichtoxidkeramiken
B4C, TiB2, LaB6 ...
Sonderwerkstoffe
B, Ge, Si ...

Wir liefern planare Targets und Rohr-Targets, monolithisch und gebondet für PVD-Sputter-Anlagen.
  • Targets von 25 - 4000 mm und gebondet
  • optimale Anpassung an die anwendungstechnischen Gegebenheiten
  • geeignete Auswahl an Rückplatten in Abhängigkeit der Targetwerkstoffe
  • Reinheiten bis 7N
  • Recycling gebrauchter Targets
 

Welche Herstelltechnik angewandt wird hängt ab von:

  • Target-Werkstoff (Keramik, Metall, Legierung, Cermet)
  • Anforderungen (Reinheit, Gefüge, chemische Zusammensetzung)
  • Targetgröße
  • Materialkomposition

Herstelltechnologien:

  • Gießen
  • Vakuumguß
  • Heißpressen
  • Heißisostatpressen (HIP)
  • Sintern
Haben wir Ihr Interesse geweckt?

Dann rufen Sie uns an, schreiben uns eine Nachricht,
oder Sie nutzen unser Kontaktformular.





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