Materialien

Oxidkeramiken


Interessante Eigenschaften für die Beschichtungsindustrie
Oxidkeramik-Targets bieten für die Beschichtungsindustrie sehr interessante Eigenschaften mit attraktivem Zukunftspotenzial. Da sie von Natur aus elektrische Nichtleiter sind, ist der Einsatzbereich für mögliche Anwendungen erheblich eingeschränkt. Allerdings erlaubt die chemische und physikalische Struktur von Oxidkeramiken durch Diffusionsprozesse oder chemische Reaktionen, die elektrische Leitfähigkeit in einem breiten Feld gezielt zu beeinflussen.

Durch die innovative Entwicklung und Forschung in unserem Haus wird inzwischen eine ganze Reihe von Suboxidkeramik-Targets hergestellt, wie z. B. Tantalsuboxid, Aluminiumsuboxid, Titansuboxid oder Niobsuboxid. Diese eröffnen dem Kunden aufgrund ihrer einzigartigen Struktur weitere Möglichkeiten in der Anwendung.

Werkstoff Sputtertarget planar gebondet Rohr gebondet chem.Formel Reinheit % Dichte g/cm³ Schmelzp °C molare Masse g/mol
Aluminumoxid   Al2O3 99 3,94 2045 101,96
Boroxid   B2O3 99,9 2,46 450 69,62
Ceroxid   CeO2 99,9 7,13 2600 172,11
Hafniumoxid   HfO2 99,9 9,68 2774 210,49
Indiumzinnoxid (ITO)   In2O3/Sn2O3 99,99 7,18 850 **
Magnesiumoxid   MgO 99,95 3,58 2852 40,3
Nioboxid Nb2O3 99,9 4,6 1520 265,8
Scandiumoxid   Sc2O3 99,9 3,86 2485 137,9
Siliziumoxid   SiO2 99,9 2,08 1710 60,08
Vanadiumoxid   V2O5 99,9 3,357 690 181,88
Yttriumoxid   Y2O3 99,9 5,01 2410 225,8
Zinkoxid ZnO 99,99 5,61 1975 81,39
Zinkoxid/Al2O3 (AZO) ZnO/Al2O3 99,99 ** ** **
Zinnoxid   Sn2O3 99,9 6,95 1630 150,71
Zirkonoxid   ZrO2 99,5 5,89 2700 123,22
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